آنالیز FESEM از اعضای خانواده میکروسکوپ الکترونی روبشی می باشد و از آن جهت بررسی ویژگی های سطحی و مورفولوژی نمونه های مختلف استفاده می شود. در این روش پرتوهای الکترونی با انرژی و طول موج مشخص سطح نمونه را جاروب می کنند. با استفاده از داده های بدست آمده از آشکارسازهایی که الکترون های برگشتی از سطح نمونه را جمع آوری کرده اند، داده های مفیدی از سطح نمونه بدست می آید.

مزیت اصلی آنالیز FESEM نسبت به آنالیز SEM قدرت تفکیک به مراتب بهتر آن به دلیل منبع تولید الکترون انتشار میدانی می باشد.

در تصویر برداری اگر در نمونه بیش از یک فاز وجود دارد بهتر است به غیر از تصویر برداری الکترون ثانویه تصویر برداری بر اساس الکترون بازگشتی نیز انجام شود.

در تصویر برداری بر اساس الکترون ثانویه کنتراست، تصویر بر اساس شکل سطح است.

در تصویر برداری با الکترون بازگشتی  کنتراست،  وابسته به عدد اتمی است. از این رو تصویر برداری در حالت الکترون بازگشتی کمک می‌کند تا بتوان فازها را از هم تفکیک کرد. فازهایی با میانگین عدد اتمی بالاتر، روشن‌تر و فازهایی با میانگین عدد اتمی کمتر، تیره‌تر دیده می‌شوند.

در صورتی که نمونه شما به بزرگنمایی های بسیار بالا نیاز دارد مانند زمانی که از نانوذرات تصویربرداری می کنید، بهتر است آنالیز FESEM را انتخاب کنید.

برای بررسی میزان عناصر در نمونه می‌توان از EDAX آنالیز استفاده کرد.

۳ حالت مختلف برای بررسی وجود دارد.

• حالت اول، حالت نقطه ای  (POINT) است.  در این حالت درصد عناصر مربوط به یک نقطه از نمونه گذارش می‌شود. حداقل اندازه منطقه قابل بررسی ۲ میکرو متر است.
• حالت دو، حالت خطی (Line) است. این حالت همان حالت نقطه‌ای است فقط با این تفاوت که روی یک خط تعداد زیادی آنالیز نقطه‌ای گرفته می‌شود و تغییرات عناصر به صورت یک نمودار گذارش می‌شود. این روش برای بررسی ضخامت پوشش‌ها، مشخص کردن عمق نفوذ و بررسی اندازه رسوبات در آلیاژها بسیار کارآمد است.
• حال سوم، حالت نقشه (Mapping) است. در این حالت از تعداد زیادی از نقاط روی سطح آنالیز عنصری گفته می‌شود ولی نتایج به صورت نقاط رنگی بیان می‌شود. هر رنگ مربوط به عنصر خاصی است و می‌توان پراکندگی عناصر را ناحیه خاصی مورد بررسی قرار دارد. این روش برای جداکردن و مشخص کردن یک فاز از فاز زمینه استفاده می‌شود.

 

 

 

 

شرایط خاص و نکات مهم آنالیز FESEM

رعایت نکات زیر در ارسال نمونه ضروری است:

1- نمونه ها باید کاملاً خشک باشند. نمونه های حاوی رطوبت و چربی پذیرش نمی گردد. برای چنین نمونه هایی می توانید از میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی (ESEM) استفاده نمایید.

2- آماده سازی نمونه ها شامل پوشش دهی طلا می باشد. هرگونه آماده سازی دیگر بر عهده متقاضی است.

3- آماده سازی نمونه های پلیمری و شکست در نیتروژن مایع باید توسط متقاضی صورت پذیرد. تصویربرداری از مقطع عرضی(Cross section) و اندازه گیری ضخامت با پرداخت هزینه جداگانه قابل انجام است.

4- برای انجام آنالیز EDS، مشخص نمودن عناصر تشکیل دهنده نمونه ضروری است.در صورتیکه تمایل به عدم مشاهده پیک طلا هستیدحتما در فرم اعلام شود. چون باید از نمونه بدون آماده سازی با هزینه جانبی استفاده شود.