اسپاترینگ
دستگاه اسپاترینگ Sputtering
شرکت سازنده: شرکت پوششهای نانوساختار
مدل: DST3-A
این دستگاه برای تهیه لایه های نازک فلزی و غیر فلزی با ضخامت مورد نظر قابل استفاده میباشد. این دستگاه دارای سه مد DC، RF و تبخیر حرارتی میباشد بنابراین قابلیت ساخت لایههای آلیاژی را هم دارد. همچنین به دلیل استفاده از پمپ توربو، لایهها در خلاء بالایی ایجاد میشوند که موجب تشکیل لایه هایی با خلوص بالا میشود.