اسپاترینگ

 

دستگاه اسپاترینگ Sputtering   

شرکت سازنده: شرکت پوشش­های نانوساختار

مدل: DST3-A

این دستگاه برای تهیه لایه های نازک فلزی و غیر فلزی با ضخامت مورد نظر قابل استفاده می­باشد. این دستگاه دارای سه مد DC، RF و تبخیر حرارتی می­باشد بنابراین قابلیت ساخت لایه­های آلیاژی را هم دارد.  هم­چنین به دلیل استفاده از پمپ توربو، لایه­ها در خلاء بالایی ایجاد می­شوند که موجب تشکیل لایه­ هایی با خلوص بالا می­شود.